Activación electrostática neumática

La activación electrostática neumática es un método de actuación para la formación de membranas finas en dispositivos MEMS y MOEMS.^[1]^[2] Este método se beneficia de la operación a alta velocidad y bajo consumo de energía.^[3] también puede causar grandes deflexión en membranas finas. Electrostática-neumático de dispositivos MEMS suelen constar de dos membranas con una cavidad sellada en el medio. Una membrana llamada actuador se desvía en la cavidad por electrostática presión para comprimir el aire y aumentar la presión de aire. La elevación de la presión empuja el otro de la membrana y la causa de la forma de la bóveda. Con directa electrostática de actuación en la membrana, una forma cóncava que se logra.

Este método se utiliza en MEMS espejos deformables para crear espejos convexos y cóncavos. accionamiento electrostático-neumático puede duplicar máximo desplazamiento de una membrana delgada en comparación con sólo membrana accionada electrostática. ^[4]

Además, la ventaja mecánica^[5] es posible por uso de electrostático-neumático actuation. Desde la cavidad está llenada con aire, la amplificación mecánica es más baja que maquinaria hidráulica con un fluido no compresible.

Referencias[editar]

↑ K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita "Surface normal electrostatic/pneumatic actuator" Micro Electro Mechanical Systems 92 Travemunde (Germany), Feb. 1992
↑ Cleopatra Cabuz, Thomas R. Ohnstein, Michael R. Elgersma (2000), "Electrostatic/pneumatic actuator for active surfaces" US Patent No. 09/573,460
↑ Moghimi, M. J. Chattergoon, K. N. Dickensheets, D. L. “High speed focus control capability of electrostatic–pneumatic MEMS deformable mirrors” in Proc. of SPIE 8977, MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, CA, Mar. 2014, pp. 897709, 897709-9
↑ Moghimi, M. J. Wilson, C. R. Dickensheets, D. L., “Electrostatic-pnuematic MEMS deformable mirror for focus control” Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2012 International Conference on , Banff, Canada, Aug. 2012, pp.132-133
↑ Bansal, R. K. (1 de enero de 2004). A TextBook of Theory of Machines. Firewall Media. ISBN 9788170084181.

Datos: Q18206772

[1] K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita "Surface normal electrostatic/pneumatic actuator" Micro Electro Mechanical Systems 92 Travemunde (Germany), Feb. 1992

[2] Cleopatra Cabuz, Thomas R. Ohnstein, Michael R. Elgersma (2000), "Electrostatic/pneumatic actuator for active surfaces" US Patent No. 09/573,460

[3] Moghimi, M. J. Chattergoon, K. N. Dickensheets, D. L. “High speed focus control capability of electrostatic–pneumatic MEMS deformable mirrors” in Proc. of SPIE 8977, MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, CA, Mar. 2014, pp. 897709, 897709-9

[4] Moghimi, M. J. Wilson, C. R. Dickensheets, D. L., “Electrostatic-pnuematic MEMS deformable mirror for focus control” Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2012 International Conference on , Banff, Canada, Aug. 2012, pp.132-133

[5] Bansal, R. K. (1 de enero de 2004). A TextBook of Theory of Machines. Firewall Media. ISBN 9788170084181.

[1]

[2]

[3]

[4]

[5]